ハイブリッドレーザー顕微鏡　OPTELICS HYBRID+
2つのコンフォーカル光学系をベースに、微分干渉観察、垂直式白色干渉測定、位相シフト干渉測定、反射分光膜厚測定の6つの機能を搭載しました。複数の装置を揃えないと実現できなかった観察・測定が、1台で可能になりました。実機展示で、詳しくご紹介します。

コンフォーカル顕微鏡自動検査/レビュー装置　OPTELICS AI2
高速自動欠陥検査機能、欠陥マッピング機能、高倍率形状レビュー機能を統合した新型コンフォーカル顕微鏡です。さまざまな材質の半導体ウェハを自動欠陥検査から高倍率レビュー、形状測定まで1台で対応し、R&Dから量産まで各フェーズで活躍する装置です。