総合検査機器展

出展社詳細

小間番号 J-24
出展社名 フィルメトリクス株式会社
https://www.filmetrics.co.jp
住所 〒222-0033
神奈川県横浜市港北区新横浜2-5-9 新横浜フジカビル
TEL 045-473-7109
FAX 045-473-7209
E-mail info@filmetrics.co.jp
みどころ 表面形状・膜厚測定のフィルメトリクスです。 表面形状測定ができるマルチ共焦点顕微鏡システム、非接触光学式の膜厚測定システムをご紹介しています。
製品情報

Zeta-20 マルチ共焦点顕微鏡システム
Zeta-20は非接触で3次元形状の測定が可能です。
独自のZDot™テクノロジーを採用し、透明なサンプルや金属表面の段差・粗さ・寸法を測定します。
デュアルLED光源を使い、高反射率部分と低反射率部分を同時に測定する事が出来ます。
<主な用途>
・マイクロデバイス:マイクロ流体デバイス、マイクロレンズ
・太陽電池:セルの電極
・LED:パターン化サファイア基板
・半導体:バンプ、配線
・医療:マイクロニードル

Profilm3D 3次元表面形状測定システム
白色光干渉技術を用いたシステム。非接触で段差・粗さを含む三次元形状の測定ができます。
<主な特徴>
・多機能ながら低価格を実現
・ナノメートルオーダーの高い分解能
・充実の標準装備 X-Y自動ステージ、手動リボルバー、自動光量調整、オートフォーカス機能
・コンパクトな筐体
・WLIとPSIの両測定モードを搭載 段差測定と粗さ測定に対応
・基本操作は簡単なマウス操作だけ
・国際規格 ISO25178 に準拠した粗さの測定
・各種対物レンズの選択、データステッチング機能

膜厚測定システム F20
世界中で5000台以上の導入実績を誇る業界標準、低価格・多目的な卓上膜厚システム。研究開発から製造現場のインライン測定まで幅広い用途でご利用頂けます。光干渉法を基に透明もしくは半透明膜の膜厚・屈折率・消衰係数を1秒程度で簡単に測定。
<主な特徴>
・ワイドレンジの膜厚に対応(1nm〜250μm)
・広い波長領域に対応(190nm〜1700nm)
・パワフルな膜厚解析
・光学定数(屈折率・消衰係数)の解析
・コンパクトな筐体
・インライン測定に対応

F40 顕微鏡式膜厚測定システム 
お持ちの顕微鏡に取付するか、フィルメトリクス社製の分光専用顕微鏡をご使用頂くことで、顕微領域での膜厚測定を可能にします。
カメラで測定箇所を確認しながら簡単に、リアルタイムで膜厚測定をすることが出来ます。
F40-UVX 紫外・近赤外顕微鏡モデルなら、顕微領域で紫外から近赤外までの広範囲で分光し、広いレンジの膜厚の測定が可能です。
※お持ちの顕微鏡に取付する場合の測定範囲は顕微鏡に依存します。

F50 自動マッピング膜厚測定システム
光干渉の原理に基づいた膜厚測定機能と自動高速ステージを組み合わせたシステムです。指定したポイントの膜厚、屈折率を、従来では考えられなかったスピードで測定します。2インチから450mmまでのシリコン基板や透明基板に対応し、任意の測定ポイントを指定することが出来ます。大型ガラス基板に対応したオプション製品もございます。

微小領域で自動測定が可能な、F54 顕微式自動膜厚測定システムもあります。