測定計測展

出展社詳細

フィルメトリクス株式会社

小間番号
M-52
出展社名 フィルメトリクス株式会社
http://filmetrics.co.jp
住所 〒222-0033
神奈川県横浜市港北区新横浜2-5-9 新横浜フジカビル4階
担当部署 営業部
TEL 045-473-7109
FAX 045-473-7209
E-mail info@filmetrics.co.jp
みどころ 3次元表面形状測定システム、マルチ共焦点顕微鏡システムを展示致します。
出展製品

Profilm3D 3次元表面形状測定システム プロフィルム3D
コンパクト・高機能・低価格な、白色干渉の原理を用いた非接触光学式の3次元表面形状測定システムです。一度に広いエリアの表面形状や段差、粗さを誰でも簡単に測定できます。
●ナノからミリメートルまでの段差や表面形状、粗さを高速測定
●デジタルズーム、各種倍率干渉対物レンズに対応
●プロファイル、段差、線粗さ、面粗さ、粒子解析、直径・長さ測定
●3次元、2次元データ表示、カラー画像表示オプション有
●XYZ100mm自動ステージ付、スティッチングオプション有
●標準段差サンプル付属

Fシリーズ 非接触光学式膜厚測定システム F20 F40 F50
UV~近赤外波長で一度に高速分光し、膜厚・光学定数を高速測定。ナノ~数百μmの厚さが測定可能。コンパクト、簡便なソフトウェア、長いワーキングディスタンス。基板厚測定・反射透過同時測定にも対応。
●膜厚測定システムF20:20年で5000台以上の販売実績。テーブルトップながらインラインまで対応。
●顕微鏡式膜厚測定システムF40:最小1μmのスポット径で測定。
●自動膜厚マッピングシステムF50:2"~450mm径の半導体・透明基板上の膜厚分布を2D3D表示。F54は顕微鏡光学系。

Zeta-20 マルチ共焦点顕微鏡システム
高精度と高速測定を両立できる、今までにない非接触光学式の共焦点顕微鏡測定システムです。
独自のテクノロジーであるグリッド共焦点技術により、走査測定を行うことなくZ方向に1回スキャンするだけで、多様なサンプルの3次元形状の測定が可能です。Zスキャン長は画像を見ながら簡単に設定でき、大きい段差でスキャン長が長くなっても高速測定が可能です。
低反射面、高反射と低反射が視野内に混在したもの、曲率の大きいレンズ、急峻なバンプ等、従来の光学式システムではできなかった測定を実現します。

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